ガスデポジション法
同大学の喜多研究室と共用
ナノ結晶を作成する
スパッタリング装置
Arガスを雰囲気としたスパッタ法(金属原子を飛ばして基盤に蒸着させる)でナノ薄膜を作成する
二元RFマグネトロンスパッタリング装置
上述の装置と同様にスパッタ法によりナノ薄膜を作成できるが、こちらは二元合金の薄膜を作ることができる
STM(走査型トンネル顕微鏡)
ナノ粒子の表面を観察する
解像度は数nm〜数10nmである
これとは別に、原子間力顕微鏡との複合機も所有している
内部摩擦測定装置
試料の機械的性質を測定する
写真左はクライオスタット
紫外可視分光光度計
紫外可視-近赤外領域波長の吸光度を測定する
単ロール液体急冷法によりアモルファス合金を作成する
写真左のチャンバーで作成されたアモルファスリボンが写真右に飛び出す